指数比率局部保持投影健康状态监控方法及其半导体蚀刻过程应用

doi:doi:10.3969/j.issn.2095-2198.2021.04.013

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摘要

针对局部保持投影在监控半导体蚀刻过程时T2统计量的缺陷，提出指数比率局部保持投影健康状态监控方法(exponential ratio locality preserving projections health monitoring method,ERLPP).将半导体数据通过统计模量方法展开为二维数据，利用局部保持投影将展开后数据投影到特征空间，首先确定特征空间中样本的第k近邻，称其为一步近邻；再确定第k近邻的前K近邻集，称其为二步近邻；最后通过一步近邻与二步近邻的指数比值运算构造统计量P.ERLPP方法不仅可以消除样本统计值的多模态特征并提高过程故障检测率，同时还可以在保持数据流形结构的前提下降低计算复杂度.通过数值例子与半导体蚀刻过程的仿真实验，并与主元分析、局部保持投影、邻域保持嵌入、k近邻规则等方法进行比较，测试结果验证了ERLPP方法的有效性.

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指数比率局部保持投影半导体蚀刻过程 k近邻规则

出版日期: 2022-01-17 发布日期: 2022-01-17 整期出版日期: 2022-01-17

基金资助:

国家自然科学基金(61490701、61573088、61673279)

通讯作者: 李元（1964—），女，辽宁沈阳人，教授，博士，主要从事复杂工业过程故障诊断的研究.

引用本文:

张成, 郭青秀, 李元.

指数比率局部保持投影健康状态监控方法及其半导体蚀刻过程应用 [J]. 沈阳化工大学学报, 2021, 35(4): 366-373.

链接本文:

https://xuebao.syuct.edu.cn/CN/doi:10.3969/j.issn.2095-2198.2021.04.013 或 https://xuebao.syuct.edu.cn/CN/Y2021/V35/I4/366